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電子探針X射線顯微分析儀

文章簡介：

即運用電子所形成的探測針（細電子束）作為X射線的激發源，來進行顯微X射線光譜分析。基本原理是電子束經過電子光學系統如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區域，樣品

發布時間：2024-01-08 17

關鍵詞：電子,探針,射線,顯微,分析儀,即,運用,電子所

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來源：北京中科光析科學技術研究所

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即運用電子所形成的探測針（細電子束）作為X射線的激發源，來進行顯微X射線光譜分析。基本原理是電子束經過電子光學系統如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區域，樣品經電子束的轟擊，輻射出X射線；通過X射線譜儀，對待測元素X射線譜的波長和強度進行測量，逐點地定性和定量分析。通過電子掃描同步系統和電子顯示，可使樣品中各種組成的分布情況，以放大的圖像直接顯示于熒光屏上。因此，電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察，又能同時分析微區成分的精密儀器。

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