中析研究所檢測中心
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中科光析科學技術研究所
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發布時間:2025-04-21
關鍵詞:超純水測試檢測方法,超純水測試檢測范圍,超純水測試檢測周期
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來源:北京中科光析科學技術研究所
因業務調整,部分個人測試暫不接受委托,望見諒。
超純水質量評價體系包含以下核心檢測指標:
電導率/電阻率:表征水中離子總量,25℃時超純水電導率應≤0.055μS/cm(對應電阻率≥18.2MΩ·cm)
總有機碳(TOC):反映有機物污染程度,半導體級要求≤1ppb
微生物指標:包括菌落總數(CFU/mL)和內毒素(EU/mL)
顆粒物濃度:采用≥0.1μm粒徑顆粒計數控制
陰陽離子濃度:重點監測Na?、Cl?等18種痕量離子
溶解氣體含量:O?、CO?等氣體分壓測定
pH值穩定性:在線監測系統響應特性
超純水檢測標準依據應用場景分級實施:
半導體制造:執行ASTM D5127-13標準,金屬離子單項≤0.01ppb
制藥行業:符合USP<645>和EP質量標準,內毒素<0.25EU/mL
實驗室分析:滿足ISO 3696 Grade 1水質要求
醫療設備清洗:依據AAMI TIR34規定進行生物負載控制
光學材料生產:顆粒物控制等級達Class 1(ISO 14644-1)
主要采用以下標準化分析方法:
電導率測定法:執行GB/T 6682-2008規范,采用溫度補償算法消除環境干擾
TOC分析技術:紫外-過硫酸鹽氧化法(USP<643>)與膜電導檢測聯用
微生物培養法:薄膜過濾法結合R2A培養基進行菌落培養計數
激光粒度分析法:光阻法顆粒計數器實現0.1-100μm粒徑分布測定
離子色譜法(IC):配備抑制型電導檢測器實現ppb級陰/陽離子定量
原子光譜法:ICP-MS用于金屬元素痕量分析(檢出限0.01ppt)
溶解氧測定法:膜電極法在線監測系統誤差<±1%FS
標準實驗室配置應包含以下設備系統:
在線水質監測系統:集成電導率/TOC/DO多參數傳感器陣列
高精度TOC分析儀:配備NDIR檢測器(測量范圍0.03-5000ppb)
超微量離子色譜儀
1、咨詢:提品資料(說明書、規格書等)
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3、填寫檢測申請表(含公司信息及產品必要信息)
4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測)
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6、檢測出相關數據,編寫報告草件,確認信息是否無誤
7、確認完畢后出具報告正式件
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